中國突破“卡脖子”技術(shù)！江蘇天晶實現(xiàn)12英寸藍(lán)寶石襯底雙重量產(chǎn)

    淮安7月14日電 我國在硬脆材料加工領(lǐng)域取得里程碑式突破——江蘇天晶智能裝備有限公司今日宣布，其自主研發(fā)的12英寸藍(lán)寶石襯底與載體晶圓已同步實現(xiàn)規(guī)�；�量產(chǎn)，年產(chǎn)能達(dá)10萬片，良率超97%。這標(biāo)志著我國首次在大尺寸藍(lán)寶石材料領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)“襯底+裝備”全鏈路國產(chǎn)化，一舉打破國外技術(shù)壟斷，躋身全球第一梯隊。

雙軌突破：技術(shù)指標(biāo)比肩國際頂尖水平

    此次量產(chǎn)的12英寸藍(lán)寶石襯底在核心參數(shù)上實現(xiàn)全面突破：直徑控制精度達(dá)300±0.5mm，表面粗糙度僅0.2納米（相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的1/400000），位錯密度≤500 cm⁻²，可耐受2050℃高溫，完全滿足GaN外延、Micro-LED等高端器件的制造需求。通過獨創(chuàng)的超高速金剛石線切割技術(shù)（線速3000米/分鐘）與磁控濺射工藝，產(chǎn)品外延層位錯密度降低80%，顯著提升LED芯片發(fā)光效率。

    同步量產(chǎn)的12英寸載體晶圓則解決了半導(dǎo)體先進(jìn)封裝的“卡脖子”難題。該產(chǎn)品支持晶圓臨時鍵合與超薄芯片傳輸，碎片率控制在0.1%以下，目前全球僅兩家企業(yè)具備同類量產(chǎn)能力，天晶是境內(nèi)唯一穩(wěn)定供應(yīng)商。

    自主裝備支撐：從“跟跑”到“領(lǐng)跑”的跨越

    天晶智能通過構(gòu)建自主裝備鏈實現(xiàn)量產(chǎn)突破：其自主研發(fā)的TJ320型超高速多線切割機，將切割效率提升300%，良率穩(wěn)定在98%以上，徹底擺脫對進(jìn)口設(shè)備的依賴。依托淮安生產(chǎn)基地，產(chǎn)品單位成本較進(jìn)口同類低30%，首批訂單已通過歐盟CE認(rèn)證并交付東南亞半導(dǎo)體代工廠，計劃2026年實現(xiàn)全球市場份額30%的目標(biāo)。

    “我們用十年時間走完了國際巨頭二十年的技術(shù)路程�！碧炀е悄芸偨�(jīng)理張耀表示，公司已從切割設(shè)備商轉(zhuǎn)型為材料解決方案提供商，未來將聯(lián)合長三角產(chǎn)業(yè)鏈伙伴制定中國大尺寸藍(lán)寶石技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

賦能三大戰(zhàn)略領(lǐng)域：從半導(dǎo)體到量子科技

    該成果將深度賦能高端制造產(chǎn)業(yè)鏈：在半導(dǎo)體領(lǐng)域，12英寸GaN功率器件可使新能源汽車電驅(qū)系統(tǒng)能效提升15%；在AR/VR領(lǐng)域，高折射率襯底（n=2.7）能將光波導(dǎo)視場角擴大40%，推動AR眼鏡光機體積縮小一半；在量子科技領(lǐng)域，超低缺陷襯底為量子芯片與高能激光窗口提供極端環(huán)境下的光學(xué)穩(wěn)定性。

    據(jù)了解，天晶已啟動12英寸圖形化藍(lán)寶石襯底（PSS）研發(fā)，瞄準(zhǔn)千億級Micro-LED市場，18英寸兼容切割設(shè)備也進(jìn)入工程驗證階段。中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所專家評價：“這項突破不僅填補國內(nèi)空白，更使我國在第三代半導(dǎo)體材料競爭中掌握了戰(zhàn)略主動權(quán)�！�