氧化物TFT新候補(bǔ)多晶IGO備受關(guān)注

    在顯示器國(guó)際會(huì)議“18th International Display Workshops（IDW '11）”（2011年12月7～9日，名古屋國(guó)際會(huì)場(chǎng)）的有機(jī)EL和電子紙會(huì)議上，有很多產(chǎn)品的發(fā)布令筆者非常感興趣，下面逐一報(bào)道。

    柯尼卡美能達(dá)發(fā)布全磷光有機(jī)EL照明模塊

    在有機(jī)EL會(huì)議上，柯尼卡美能達(dá)發(fā)布了全磷光有機(jī)EL照明模塊（論文序號(hào)LIT1/OLED1-1）。這種模塊已經(jīng)投產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)了45lm/W的高效率。發(fā)光區(qū)域的面積為55cm2，面板模塊的厚度僅1.9mm，發(fā)光亮度為1000cd/m2。驅(qū)動(dòng)電壓只有3.6V，消耗電流為71.5mA。色度為(x,y)＝(0.45, 0.41)，色溫度為2800K。由于是全磷光，因此無(wú)需采用串聯(lián)構(gòu)造，而采用簡(jiǎn)單構(gòu)造即可，因此還有利于降低成本。備受關(guān)注的壽命方面，在劣化中基本無(wú)色度變化，確保了耐用性。對(duì)視角的依賴性也很小，從任何角度看都顯示同種顏色。

    雖然該產(chǎn)品還需要將成本降低一位數(shù)，否則很難全面普及，不過(guò)作為商品所要求的最低性能已經(jīng)能夠滿足。不過(guò)，該產(chǎn)品不是在單品中使用，而要應(yīng)用于室內(nèi)裝飾等，因此需要更加容易組合的形狀和尺寸。比如，用于家具的照明大部分為圓形。圓形照明在設(shè)計(jì)上容易實(shí)現(xiàn)多種組合，而方形照明只適合日式房間專用照明等。另外，稍大一些的產(chǎn)品可設(shè)計(jì)成非常顯眼的燈具和家具。希望廠家能夠結(jié)合插座標(biāo)準(zhǔn)化，研究用戶方的需求，以加快產(chǎn)品的普及。

    圖1：柯尼卡美能達(dá)的全磷光有機(jī)EL照明模塊（論文序號(hào)LIT1/OLED1-1）效率非常高，達(dá)到45lm/W，觸摸表面，隱約感覺有點(diǎn)溫暖。雖然發(fā)光面很小，只有約7.4cm見方，但考慮到電壓下降的影響，估計(jì)這是在無(wú)輔助電極、均一性達(dá)到80％的條件下能夠?qū)崿F(xiàn)的最大尺寸。

    圖2：柯尼卡美能達(dá)的全磷光有機(jī)EL照明模塊的背面（論文序號(hào)LIT1/OLED1-1）未使用輔助電極，從背面看構(gòu)造也很簡(jiǎn)單。也未使用散熱板，因此非常輕巧�？紤]到價(jià)格，可以加一個(gè)顯得高檔的邊框。

氧化物TFT新候補(bǔ)多晶IGO備受關(guān)注(2)

    索尼發(fā)布采用多晶氧化物TFT的有機(jī)EL面板

    在“AMD1”與“OLED3”的合并會(huì)議“AMOLED”上，索尼發(fā)布了采用多晶氧化物TFT的有源矩陣驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL面板（論文序號(hào)AMD1/OLED3-1）。其溝道層采用多晶IGO膜取代了原來(lái)的非晶IGZO膜。遷移率高達(dá)22～24cm2/Vs，遇到DHF溶液也基本不會(huì)被蝕刻，因此適合反向通道蝕刻型TFT。

    SRU（short range uniformity）方面，16個(gè)TEG檢測(cè)結(jié)果表明，Vth的平均值為0.23V，σ＝0.02V，偏差很小。LRU（long range uniformity）方面，在300mm×350mm的玻璃底板上，遷移率平均值為23.8cm2/Vs，σ＝0.86cm2/Vs，整個(gè)基板的偏差也很小�？煽啃苑矫�，在Vg＝Vd＝15V的PBTS（positive bias temperature stress）試驗(yàn)中，在10000秒內(nèi)有0.25V左右的Vth漂移。

    索尼采用這種多晶IGO TFT試制出了有源矩陣驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL面板。對(duì)角9.9英寸，像素為960×540（qHD），像素回路為2T（雙晶體管）構(gòu)造。估計(jì)跟該公司已投產(chǎn)的11英寸有機(jī)EL電視“XEL-1”一樣，通過(guò)2T-2C（2晶體管-2電容器）回路補(bǔ)償了Vth和遷移率。從照片上看，均一性良好。

    由于IGO不能制造多結(jié)晶的靶材，所以必須在非晶狀態(tài)下成膜后通過(guò)基于熱退火的固相生長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)多晶化。長(zhǎng)年從事多晶硅TFT業(yè)務(wù)的人員，可能會(huì)擔(dān)心“多晶化會(huì)不會(huì)需要巨大的熱量”，但由于“可以在非晶硅TFT的最高工藝溫度以下進(jìn)行短時(shí)間處理”，所以對(duì)產(chǎn)品的批量生產(chǎn)似乎沒(méi)有什么影響。從均一性數(shù)據(jù)來(lái)看，結(jié)晶成長(zhǎng)所產(chǎn)生的顆粒也基本沒(méi)有影響，因此完全有可能成為反向通道蝕刻型氧化物TFT的真正候補(bǔ)。

    電致變色方式的64灰階全彩電子紙

    在電子紙會(huì)議上，理光發(fā)布了實(shí)現(xiàn)64灰階全彩顯示的電致變色顯示器（論文序號(hào)EP1-1）。元件構(gòu)造為黃色、藍(lán)綠色、深紅色3原色電致變色層縱向?qū)拥�成三層。背板采用的是低溫多晶硅（LPTS）TFT。

    該產(chǎn)品非常受歡迎，記者招待會(huì)上人山人海，甚至無(wú)法靠近觀看實(shí)物。面板尺寸為對(duì)角3.5英寸，像素為240×320。寫入也比較順暢，幾秒左右擦寫一次畫面。在目前發(fā)布的彩色電子紙中實(shí)現(xiàn)了非常自然的顏色。

    圖3：理光的全彩電致變色顯示器（論文序號(hào)EP1-1）對(duì)比度稍微差點(diǎn)，但灰階表現(xiàn)順暢，作為反射型，實(shí)現(xiàn)了非常良好的色彩。