斯坦利電氣開發(fā)出超小型投影機(jī)用鏡片組件

    斯坦利電氣利用全新結(jié)構(gòu)的致動(dòng)器開發(fā)出了可供超小型投影機(jī)使用的鏡片組件，并在“MEMS2007”國際會(huì)議進(jìn)行了技術(shù)發(fā)表。超小型投影機(jī)的目標(biāo)用途是手機(jī)，利用微鏡片掃描彩色激光，將圖像投影到了墻壁等表面上。

    該公司此次利用壓電組件開發(fā)出了在垂直和水平雙軸方向掃描激光的微鏡片致動(dòng)器。通過采用新開發(fā)的特殊結(jié)構(gòu)，即使可得到較大的驅(qū)動(dòng)力，也能產(chǎn)生變異較小的大壓電驅(qū)動(dòng)位移。

    一般來講，基于單芯片的雙軸掃描，與垂直方向相比，水平方向的驅(qū)動(dòng)頻率要大得多，因此很難利用共振頻率驅(qū)動(dòng)雙軸。因此該公司決定利用非共振頻率進(jìn)行垂直方向的驅(qū)動(dòng)。采用非共振驅(qū)動(dòng)時(shí)，需要較大的驅(qū)動(dòng)力，因此該公司采用了基于PZT的壓電驅(qū)動(dòng)方式。不過，這種驅(qū)動(dòng)方式存在無法產(chǎn)生大位移的缺點(diǎn)，此次通過采用新結(jié)構(gòu)決定了這一問題。

    所采用的新結(jié)構(gòu)就是將致動(dòng)器設(shè)計(jì)成蛇行形狀。這種結(jié)構(gòu)有多個(gè)驅(qū)動(dòng)部分，各驅(qū)動(dòng)部分的位移積累起來以后，整體上就能得到大位移。

    為了實(shí)現(xiàn)壓電驅(qū)動(dòng)，需要有能夠均勻形成結(jié)晶的PZT膜工藝，而該公司早已開發(fā)出了這項(xiàng)技術(shù)，名為“ADRIP（arc discharged reactive ion plating）”。在500℃的非超高溫度條件下能夠以3μm/小時(shí)的速度進(jìn)行成膜。